ウィケットタイプ
基材を立てて搬送することで省スペース化を実現！
長めの乾燥時間を要するシリコンウエハを、立てて搬送することでコンパクトさを実現した装置です。
このタイプは、速いタクトに関わらず長めの乾燥時間を要するシリコンウエハを、立てて搬送することでコンパクトさを実現した装置です。
- 熱風循環式
- ウイケット搬送
- MAX200～230℃
メーカーサポートと保証
製品の購入後も安心してご利用いただけるよう長期間の保証やサポートがあります。
迅速かつ専門的な対応
問題や疑問が生じた場合、メーカーサポートが専門的かつ迅速に対応します。
ニーズに合わせた自動化対応
お客様のニーズに合わせた自動機を設計し提案します。